用于熱真空試驗(yàn)的設(shè)備一般為熱真空試驗(yàn)箱，或熱真空試驗(yàn)艙。熱真空試驗(yàn)設(shè)備的試驗(yàn)容器的外部機(jī)體由優(yōu)質(zhì)不銹鋼制成，其設(shè)計(jì)得到有限元法FEM的分析支持，以便優(yōu)化鋼的厚度，以承受內(nèi)部和外部環(huán)境之間的壓差。

下面，我們以“環(huán)儀儀器”的熱真空試驗(yàn)箱為例，來(lái)說(shuō)說(shuō)它的工作過(guò)程。

1.獲得溫度場(chǎng)

在熱真空試驗(yàn)設(shè)備中放置樣品，關(guān)閉兩個(gè)圓盤形熱屏蔽罩將圓筒兩端封閉，以便在被測(cè)設(shè)備周圍獲得均勻的溫度場(chǎng)，以通過(guò)傳導(dǎo)傳熱進(jìn)行熱循環(huán)。

2.抽真空和低溫

第一個(gè)真空階段（初級(jí)或初步抽真空）由干泵執(zhí)行，其消除了返油風(fēng)險(xiǎn)并具有非常低的維護(hù)成本特點(diǎn)?？稍诙虝r(shí)間內(nèi)從環(huán)境壓力轉(zhuǎn)變?yōu)榧s10-2毫巴的壓力。

第二個(gè)階段包括更復(fù)雜的泵（低溫泵），允許實(shí)現(xiàn)高真空與高可靠性性能。試驗(yàn)箱內(nèi)的典型最終壓力水平約為1×10-6毫巴，但根據(jù)時(shí)間可能降至10-8毫巴范圍內(nèi)的值。

3.控制和管理系統(tǒng)

熱真空試驗(yàn)箱的控制和管理系統(tǒng)由硬件和軟件的全自動(dòng)組合而構(gòu)成。通過(guò)控制系統(tǒng)的核心PLC來(lái)實(shí)現(xiàn)排序、安全聯(lián)鎖和操作員界面操作。PLC提供內(nèi)置的子系統(tǒng)間級(jí)聯(lián)鎖，從而確保操作人員、試驗(yàn)對(duì)象和設(shè)施設(shè)備的安全。同時(shí)提供HMI設(shè)備，用于將本地（機(jī)載面板）和遠(yuǎn)程（PC專用軟件）控制裝置連接到PLC。

當(dāng)然，上面所描述的熱真空試驗(yàn)設(shè)備的運(yùn)作過(guò)程，只是很簡(jiǎn)單的講解，真正的測(cè)試過(guò)程，是很復(fù)雜的。

如果你對(duì)熱真空試驗(yàn)的過(guò)程有疑問(wèn)，可以咨詢我們的專業(yè)技術(shù)人員，獲取更專業(yè)的答復(fù)。